粒子計數(shù)器是檢測潔凈室內(nèi)空氣中懸浮顆粒數(shù)量和尺寸的儀器。原理是光學(xué)散射：空氣被抽過激光束窗口，顆粒物折射光脈沖，由光電二極管轉(zhuǎn)換計數(shù)。常規(guī)檢測粒徑為0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm等。手持式用于日常巡檢，臺式大流量（28.3L/min或50L/min）用于級別認(rèn)證。測量時應(yīng)避開送風(fēng)口正下方，探頭高度相當(dāng)于操作面。數(shù)據(jù)需報告單次值和UCL（置信上限）。